Dabei werden in einem Gleichspannungsplasma die metallischen Proben als Kathode benutzt. Von der Oberfläche ausgehend wird nach und nach durch Kathodenzerstäubung die Probe schichtweise abgetragen. Die abgetragenen Atome gelangen durch Diffusion in ein Plasma. Durch Stoßprozesse angeregt emittieren diese Atome Photonen mit charakteristischen Wellenlängen, welche mittels nachgeschaltetem Spektrometer aufgezeichnet und anschließend quantifiziert werden.